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超高真空雙傾角室蒸發設備
技術參數 ：
1、UHV超高真空腔體：2腔室，負荷鎖和蒸發，負荷鎖極限真空 極限壓力<1E-8 Torr，可加熱RT-900oC
2、蒸發腔：極限真空 極限壓力<3e-9 Torr
3、高分辨率鍍膜速率顯示及控制 ：±0.015，?100mm鍍膜均一性<3%
4、基板操控能力：可實現180度傾斜及360度旋轉，0.1度的精準控制，加熱RT-600oC
5、傳輸 ：全自動樣品傳輸
廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設備業務方面多年的經驗，韞茂為新型芯片，半導體和鋰電池領域的新材料開發和生產，提供專業的納米工藝設備和服務解決方案。根據您的特殊需求，我們為您定制打造創新納米加工平臺，保證高品質的設計，多功能，易于使用的界面，嚴格的安全控制，以及快速的交付和服務。
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