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技術特點：
● 可切割碳化硅晶圓，通過參數設置可實現多次切割，支持**工件尺寸 200mmx200mm；
● 搭配高精度主軸，滿足更高切割品質的要求；龍門式結構，剛性高，穩定性好；標配 Sub-CT 輔助磨刀功能，可實現切割過程中自動磨刀，**程度保證切割質量。
性能指標：
| 主軸 | 功率 | KW | 1.8 | |
| 轉速范圍 | rpm | 6000-60000 | ||
| X軸 | 有效行程 | mm | 300 | |
| 速度范圍 | mm/s | 0.1-600 | ||
| 分辨率 | mm | 0.001 | ||
| Y軸 | 有效行程 | mm | 300 | |
| 分辨率 | mm | 0.0001 | ||
| 步進精度 | mm | 0.002/5 | ||
| 全程累積誤差 | mm | 0.003/300 | ||
| Z軸 | 有效行程 | mm | 30(使用μ58切割刀片時) | |
| 重復精度 | mm | 0.001 | ||
| 支持**刀具直徑 | mm | 58 | ||
| D軸 | **轉角 | deg | 380°士5° | |
| 重復精度 | arc-sec | 1″ | ||
| 顯微鏡 | 鏡頭倍數 | - | 15x(可選) | |
| 光源配置 | - | 環光?直光 | ||
| 光源配置 | - | 環光?直光 | ||
| 工件 | 圓形工件尺寸 | mm | μ8及以下 | |
| 方形工件尺寸 | mm | 200mmx200（無Sub-CT) 200mmx200 ( Sub-CT) | ||
| 其它 | 設備外形 | mm | 1085×1040×1805 | |
| 重量 | kg | 1200 | ||
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高端裝備制造作為國家產業升級和科技創新的關鍵產業，正在引領全球經濟的新一輪變革，它不僅代表著一個國家的工業實力，更是衡量其在全球產業鏈中位置的重要標志。 根據國家知識產權局辦公室印發的《戰略
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