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CVD-Quadiance6/8吋薄膜沉積設(shè)備品牌
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Quadiance 系統(tǒng)適用于6/8 氧化硅、氮化硅、氮氧硅介質(zhì)層等薄膜沉積工藝。平臺(tái)采用多腔體架構(gòu)，每個(gè)腔體可以實(shí)現(xiàn)2片晶圓同時(shí)工藝，提升系統(tǒng)WPH。廣泛應(yīng)用于集成電路，化合物半導(dǎo)體，功率半導(dǎo)體以及MEMS等領(lǐng)域。
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