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JHQ-410系列激光劃片機品牌
中電科產地
北京樣本
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概述
JHQ-410系列激光劃片機，配置進口激光器，加工效率高，質量穩定， 設備簡單易操作；提供傳統矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式， 可升級提供六邊形劃切（三角形切割方式）。
全系列產品分為四款設備：
JHQ-41 0. JHQ-410Z兩款設備支持劃切產品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產品或晶圓背面制作標記圖形的產品。正面對準正面劃切，不支持 底部對準功能。
JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ兩款設備擁有獨特的雙光路系統，為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標方案。正面對準正面/背面劃切， 支持底部對準功能。
性能指標
劃切參數 | 劃切對象 | 4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓 |
劃切方式 | 等距矩形切割，支持三角形切割（手動對準） | |
激光參數 | 光纖激光器，**功率20W | |
劃切速度 | W250mm/s | |
切割精度 | ±0.003mm | |
切割線寬 | 0.035-0.055mm | |
切割深度 | <0.12mm | |
工作臺參數 | 工作范圍 | 220mm*200mm |
工作臺分辨率 | 0.0005mm | |
旋轉電機行程 | 360° 185° | |
旋轉電機定位精度 | 30” | |
Z向定位精度 | 0.01mm | |
Z向激光調焦行程 | 20mm | |
其他 | 自動對位范圍 | 35mil-305mil |
自動對位精度 | 0.01mm | |
外形尺寸 (WxDxH) mm | JHQ-410/JHQ-410D | 760x1165x1650 |
JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ | 940x1165x1650 | |
設備重重kg | JHQ-410/JHQ-410D | 750 |
JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ | 800 |
產品特色
●底部對準
●背面打標
●自動上下料
●自動對位
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