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技術特點 ●可切割碳化硅晶圓,通過參數設置可實現多次切割,支持**工件尺寸 200mmx200mm; ●搭配高精度主軸,滿足更高切割品質的要求;龍門式結構,剛性高,穩定性好;標配 Sub-CT 輔助磨刀功能,可實現切割過程中自動磨刀,**程度保證切割質量。
性能指標
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)
電子束光刻機
CVD 真空化學氣相沉積設備
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
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