設(shè)備名稱：鈣鈦礦太陽能電池蒸發(fā)設(shè)備（不與手套箱連接）
設(shè)備型號(hào)：ZHD500
鍍膜方式：金屬+有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式方形前開門結(jié)構(gòu)
真空腔室尺寸：L500mmxW500mmxH450mm
基片臺(tái)尺寸：220mmx220mm
膜厚不均勻性：≤±5.0%（210mmx210mm范圍內(nèi)）
基片臺(tái)加熱：室溫～300℃（選配）
基片臺(tái)水冷：10℃～30℃
蒸發(fā)源/濺射靶：金屬+有機(jī)共6組（選配）；有機(jī)配溫控式加熱電源，金屬電源（國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口）
晶振膜厚監(jiān)控儀：國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口多探頭（可選）
控制方式：PLC + 觸摸屏控制
占地面積：L1840mmxW800mmxH1920mm
總功率：≥12kW

1.國(guó)內(nèi)技術(shù)**、市場(chǎng)占有率**，設(shè)計(jì)優(yōu)化，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低。

2.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復(fù)合功能薄膜材料制備等應(yīng)用。