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磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600
磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600

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型號

磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600

品牌

北京泰科諾

產地

北京

樣本

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北京泰科諾科技有限公司

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設備型號：JCPF2600

鍍膜方式：磁控濺射

真空腔室結構：SUS304 方箱式

真空腔室尺寸：L2600mmxH700mmxW260mm

極限真空：優于 5.0x10-5Pa

基片臺尺寸：300mmx400mm向下兼容300mmx300mm

基片溫度：常溫

濺射靶：矩形平面靶1套，旋轉柱狀靶2套

控制方式：PLC/PC 控制 ( 可選 )

占地面積：15000mmx5000mm

供電總功率：≥ 20kW 三相五線制


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