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設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 手動 |
2 | 管路數 | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | VGF/VB 工藝 |
5 | 控溫精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒溫區內 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統結構 | 一體工控機+PLC |
8 | 報警保護: | 具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
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