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設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 根據客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數 | 1-4管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散（鎵擴）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金 |
5 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能（選配） |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統結構 | 一體工控機+PLC |
8 | 系統極限真空度 | ＜10Pa |
9 | 工作壓力范圍 | 100Pa-10Pa可調 |
10 | 報警保護 | 具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
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