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E3500 SiC 缺陷檢測設備品牌
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E3500是針對SiC材料的缺陷檢測設備，可以檢測SiC襯底、同質外延等的表面和熒光缺陷。可以檢測并區分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測，具有高產能、高檢測精度的優點。
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