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l 具備AOI 、OCR等功能；兼容4 inch和6 inch晶圓
l 自研光學鏡頭： FOV 15.6mm
l *小缺陷檢測能力：0.3μm
l 缺陷檢出率 ≥ 98%
l 缺陷重復性 > 95%
l 鐳刻碼OCR識別率 ≥ 99.9%（選配）
l 4 inch產能 ≥ 100片/小時
l 6 inch產能 ≥ 60片/小時
l 具備12個分規料盒（Cassette）
l 具備非接觸Aligner功能
l 具備晶圓分級功能
l 具備輸出檢測報表和缺陷分布圖功能
l 具備缺陷分類功能，可識別缺陷類別
l 支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口
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