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MOCVD 在線監測系統系列產品
MOCVD 在線監測系統系列產品

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MOCVD 在線監測系統系列產品

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昂坤視覺

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北京

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MOCVD在線監測系統系列產品用于實時監測工藝過程中晶圓的溫度，反射率和翹曲度，并提供可靠的溫度信號用于控溫，適用于各種轉速的MOCVD機臺。包括溫度反射率翹曲度在線監測（viperRTC）、表面溫度測量（viper405）、溫度校準單元（Calibration Unit）、溫場掃描系統（Scanpyro）等產品

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