適應晶圓尺寸 Wafer Size

l Size: 4", 6" compatible

檢測缺陷類別 Defect types

l 常規檢測:微觀亮/暗缺陷、宏觀亮/暗缺陷、刮傷(Scratch)、defocus、甩膠(SpinPR 及 Comet)、格線(Shotline)、 脫膠(Degumming)

l 帶有深度學習系統與神經網絡算法，可以對缺陷類別進行精 準分類

l 支持用戶定義或協商定制缺陷類別，但增加缺陷類別可能會 影響產能

PSS缺陷檢測設備采用自研光學鏡頭、高性能工業相機和高精度STAGE平臺，具備業界**的檢測性能，用于4@@、6@@ PR片、PSS片和藍寶石拋光片的缺陷檢測，具有鐳刻碼識別、缺陷檢測及分類、反射率測量及分類、缺陷riview、晶圓分檔和光刻膠厚度測量等功能。