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技術(shù)規(guī)格：
1. 支持**晶圓尺寸：300mm
2. X-Y軸移動重復(fù)性：+/-1.5mm
3. X-Y軸移動分辨率：5 mm
4. X-Y軸移動速率：50mm/s
5. Z軸移動重復(fù)性：+/-1mm，移動分辨率：1mm
6. Z軸移動速率：10mm/s
7. 顯微鏡分辨率：4mm
8. 可測試溫度：RT~200℃
9. 邁銳軟件，全自動控制平臺移動。
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