儀器簡介：

MIDAS為勻膠機(又稱為旋涂儀、甩膠機、Spin Coater等)的知名國際品牌，目前全球用戶超過1800臺，在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽，高性價比。

勻膠機有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等， 主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片， 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上， 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同， 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝， 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

馬達的皮實耐用性能及高速旋轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和均勻性是進口設(shè)備和國產(chǎn)設(shè)備的區(qū)別?。?/p>

此型號勻膠機在國內(nèi)高校研究單位被廣泛使用，是進口設(shè)備中性能價格比**的型號，到貨期短（一般2周到貨），使用簡單（用戶均可自行安裝操作），維修快捷，3年內(nèi)正常使用不會出問題。

技術(shù)參數(shù)：

時間 Time : 1~999秒，可調(diào)節(jié)

基底尺寸 Substrate Size: ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可選擇

卡盤旋轉(zhuǎn)速度 Chuck Rotation Speed : 300~8000 rpm，直流伺服馬達/交流伺服馬達

勻膠狀態(tài) Spin State: 50步，20個方案控制(數(shù)字程序編輯)

面板數(shù)字式編程，液晶顯示，操作方便

碗腔尺寸 Bowl Size: 8英寸，鋁(經(jīng)陽極氧化工藝)/12英寸，SUS

增/減速率 Accele/deceleration Rates: 可調(diào)節(jié)

真空卡盤 Vacuum Chuck : 鋁(陽極氧化)，乙縮醛(Acetal)

電源 Electrical Power : 220V， 5A

自帶無油真空泵 Oilless Vacuum Pump: - 650 mmHg

尺寸(mm) Dimension: 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280

主要特點：

1） 桌上型勻膠機，涂膜厚度范圍：100nm~100um；

2） 可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機溶液、水溶液；

3） 緊湊型設(shè)計，用戶編輯、控制、存儲、取出涂膠程序，易于操作；

4） 加速及減速速率基于設(shè)定的時間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動計算；

5） 用戶通過勻膠機前面板顯示屏和按鈕進行編輯、控制、存儲、取出涂膠程序，并進行實驗操作。