AccuFlux 工藝監(jiān)控儀是非侵入式在線束流監(jiān)控儀并配有原子吸收譜儀。利用各元素特定的照射燈，AccuFlux 還可測(cè)量固態(tài)源及氣態(tài)源的氣相束流密度。此監(jiān)控儀可同時(shí)監(jiān)控4種材料。獨(dú)特的光學(xué)和電子設(shè)計(jì)，使速率精度<0.002nm/s。AccuFlux 具有自參考和自對(duì)準(zhǔn)功能，即使儀器出現(xiàn)移位也不會(huì)影響監(jiān)測(cè)。

AccuFlux 工藝監(jiān)控儀可用在MBE及MOCVD上測(cè)量絕大多數(shù)材料。遠(yuǎn)程控制裝置做為可選部件，是生產(chǎn)型應(yīng)用的理想選擇。此裝置可提供擋板及源控制的信息實(shí)時(shí)反饋。不論生長(zhǎng)設(shè)備上源（cell）的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是線型還是共焦型，AccuFlux都可以使用。每種材料具有獨(dú)特的光源，因此該監(jiān)控儀可在過壓環(huán)境下使用，例如GaAs，CIGS及氧化物的生長(zhǎng)。

●創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計(jì)，能夠檢測(cè)速率*低為0.002nm/s

●針對(duì)各元素的高強(qiáng)度燈源

●可對(duì)固態(tài)及氣態(tài)源進(jìn)行束流監(jiān)控

●遠(yuǎn)程控制可選，能夠?qū)崿F(xiàn)閉環(huán)控制

●可以同時(shí)監(jiān)控4種材料