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美國SVT小型MBE
SVT 公司生產的SMART NanoFab MBE 具有體積小容量大的優點。
可以多種生長模式集成于一個腔室。
桌面大小的超高真空腔室包含了一系列沉積源以及工藝監控儀器的端口。
裝載室可以盛放多個樣品，便于在超干凈環境下操作樣品。
集成電子控制柜以及烘烤系統使操作系統非常簡便。
可容納4或8個源。
應用
III-V，II-VI，II-Oxides，III-Nitrides以及其他材料；
想使用MBE并需要其他薄膜生長模式生長的材料
沉積源和檢測儀器
蒸發源
單坩堝以及多坩堝電子束蒸發源
RF等離子體源
激光器燒蝕源
濺射源
氣體入射源
RHEED以及RHEED分析軟件
AccuFlux 原位工藝監控儀
QCM石英晶體速率監控儀
線性束流監控儀
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