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美國SVT大容量閥控源
美國SVT大容量閥控源

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美國

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暫無
美國SVTA公司中國辦事處

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SVT 閥控沉積源可精確控制高蒸汽壓材料的束流。其獨(dú)特地閥門設(shè)計,使該源具有很好的工藝重復(fù)性以及束流反應(yīng)即時性。驅(qū)動閥門可選,可實(shí)現(xiàn)自動工藝控制。

閥控沉積源與束流分流口相連,可以在很大面積的襯底上沉積。分流口光闌可以調(diào)節(jié)束流形狀,是太陽能電池以及OLED沉積工藝的**選擇。分流口可與襯底非常接近,因此提高了沉積速率。

增加熱激發(fā)區(qū)域可選,此區(qū)域可以提高多原子大分子的活性。熱激發(fā)的分子降低了材料消耗,提高了材料質(zhì)量以及S和Se的結(jié)合力。

針閥設(shè)計可以精確控制高蒸汽壓材料的束流

熱激發(fā)部件可選,可提高材料結(jié)合力

可客戶定制分流口

源容量大,適于長期生長

是太陽能電池和OLED應(yīng)用領(lǐng)域的**選擇

型 號

容 量

兼容的材料

SVTA-VC-200

200cc

As,Sb,Se, Te,S

SVTA-VC-500

500cc

As,Sb,Se, Te,S

SVTA-VC-15000

15,000cc

Se, Te,S

SVTA-VC-30000

30,000cc

Se, Te,S

饋入法蘭

4.5’’(DN63)CF 法蘭(其它尺寸可選)

**體蒸發(fā)溫度

450 oC,500 oC除氣

分流口**溫度

700 oC,900 oC除氣

源溫度穩(wěn)定性

+/- 0.1 oC

熱偶類型

K型

電接插件

大氣下的燈絲:Amphenol環(huán)形燈絲

T/C:Omega亞微型

烘烤溫度

200oC

束流穩(wěn)定性

<1%,帶有集成束流傳感器

**操作環(huán)境壓強(qiáng)

1X10-4Torr

沉積均一性

+/-6%(源與襯底距離300mm)

+/-4%(源與襯底距離200mm)

加熱時間

400 oC< 60min

冷卻時間

100oC <120分鐘

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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