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美國SVT公司CIGS銅銦鎵硒系統
35-V-100是薄膜沉積精密設備，是適用于4英寸襯底的CIGS研發型設備
SVTA-CIGS-30是生產型系統
還可提供各種大容量生產型的S/Se源，包括點源（200CC-2000CC）和線性源（8000CC）
*多可放6個樣品
可靠地高溫襯底加熱器
多重泵抽組合包含Se trap
關于襯底操作還可以添加集群腔室，便于以后升級
*多容納10個源
先進的在線監控儀
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