中國粉體網訊 近日，安徽省六安市霍山縣舉行迎新年重點工業項目集中開工儀式，這次集中開工10個重點工業項目，總投資50.6億，其中包括安徽煥宸光電科技有限公司高純電子級石英砂及坩堝項目。
來源：霍山縣融媒體中心
項目總投資5.2億元，總占地面積40000平方米，分二期實施：一期投資8000萬元新建廠房約20000平方米，新安裝符合國家產業政策的石英砂生產線1條和其他配套設備。二期投資44000萬元新建廠房約20000平方米，新安裝符合國家產業政策的石英砂、坩堝生產線共4條和其他配套設備。項目全部建成后，能夠形成年產12000噸高純石英砂及石英坩堝的生產能力。
產品方案
電子級高純石英砂
芯片、光纖、光纜是當今信息化、智能化、網絡化社會的硬件基礎，而純度達到99.999%的電子級石英砂是制造芯片、光纖、光纜的基礎原材料。由于行業的特殊性，電子級石英砂主要運用于半導體、電工電子、航空航天、國防軍工等高新技術領域。尤其是在半導體領域中，高純石英砂是石英玻璃的核心原材料，高純石英砂的產品純度決定其應用領域。石英材料在半導體中主要用于上游的硅片制造和晶圓制造，比如石英玻璃鐘罩、石英玻璃坩堝和石英玻璃舟支架用于單晶硅片制造環節；高精度石英玻璃基片是光掩膜基板的主要基礎材料；還有石英玻璃擴散管用于晶圓制造和加工過程。
高純石英砂生產工藝
高純石英砂生產工藝流程
廢酸浸泡：酸洗過程使用混酸進行酸洗，混酸來源于酸洗除雜工序廢酸，主要成分為氫氟酸、鹽酸，酸洗處理后的半成品石英砂直接在當前的反應裝置內進行脫酸。
高溫除雜：將初步酸泡后礦石通過上料系統輸送至封閉加熱系統內，采用電加熱對石英砂進行高溫（1000℃）加熱，促使石英砂開裂，便于內部雜質暴露和后續加工、酸浸除雜。
破碎：初步除雜后石英石通過進入鄂破機內，制備成形狀、粒度符合要求的較細顆粒，破碎的目的在于將外購的石英石破碎后粒徑變小。
制砂分級（球磨-篩分-磁選）：破碎后產生的細石英砂經密閉皮帶輸送提升至并球磨機進行球磨，然后通過旋風除塵進入篩分機內對石英砂進行分級，根據客戶不同要求，粒徑較大的顆粒返回球磨工序進一步球磨，篩選出來的產品分為粒度小于50目、50~100目、100~150目等，篩分后的石英砂通過一體機自帶的磁選裝置將其中的金屬鐵去除。
酸洗除雜：酸洗過程使用混酸進行酸洗，酸洗時先將配酸罐中的混酸送入酸洗除雜反應裝置，而后將石英砂送入，酸洗為浸泡式，酸洗反應溫度50℃，由電加熱裝置提供熱量，使混酸的溫度升高，酸洗處理時間為4小時。酸洗處理后的半成品石英砂直接在當前的反應裝置內進行脫酸。
浮選溢流：水洗出水設置溢流系統，較重的石英砂沉于系統下部，較輕雜質隨上部排水系統排出，專用篩網能防止規定目數的石英砂被抽出，還能通過酸洗沉渣，達到石英砂與酸洗沉渣等有害物質分離的目的。
磁選：將石英砂通過電磁選機精選出內部含有的金屬物質。
高溫氯化除雜：將精磁選礦石進入氯化提純機內，溫度升高至1200℃，采用電加熱。石英顆粒表層的堿金屬、堿土金屬和殘余的包裹體等雜質在高溫下與氯化氫反應生成氣態氯化物，高溫氣流將這些雜質元素的氯化物帶走，從而達到深度提純的目的。
電加熱烘干、冷卻：溢流后的高純石英砂用烘干機（電加熱，溫度大約900℃）進行干燥，石英砂干燥后經過烘干機自帶冷卻系統進行間接冷卻。
石英坩堝
石英坩堝是由石英砂制成的容器，具有高純度、耐高溫、使用時間長等特點，目前廣泛應用于半導體和光伏領域單晶硅棒的生產工藝中，是半導體硅片和光伏硅片生產過程中硅料熔融、晶體生長環節的重要耗材。
石英坩堝生產工藝
石英坩堝生產工藝
投料：將高純石英砂裝入可任意傾動角度的旋轉成型模內，利用離心力和成型裝置，將高純石英硅原料在旋轉的堆場模具內形成一定的形狀和厚度，并放入熔制爐內。
抽真空熔制：先抽真空（對模具抽真空），然后通過3根石墨電極起電弧，熔化模具中石英砂，熔制溫度在1700℃左右，熔制時間為10~20分鐘。
冷卻：石英熔制爐自帶循環水冷卻裝置，熔制結束后，通過循環冷卻水進行冷卻至常溫。
脫模：模具帶著坩堝退出熔制爐，由工人用錘子輕輕敲打模具外表面，使坩堝脫離模具，模具重復使用。
檢驗：使用卡鉗及卡尺檢驗尺寸大小，進行微氣泡檢測。
入庫：合格品包裝入庫。
參考來源：
霍山縣融媒體中心、新華日報
汪靈.純凈勝瑾瑜 貴若冠上珠——解讀高純石英
（中國粉體網編輯整理/初末）
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