中國粉體網訊 碳化硅制備工藝對于生產高質量碳化硅晶圓有著直接影響，目前碳化硅晶圓被應用到了各個高新領域之中，是制作高新產品的重要材料之一。碳化硅是一種由碳元素和硅元素構成的化合物，有單晶和多晶兩種形態。其中多晶碳化硅硬度更高[更多]
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