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SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設備
SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設備

參考價格

面議

型號

SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設備

品牌

青禾晶元

產地

天津

樣本

暫無
青禾晶元半導體科技(集團)有限責任公司

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第1年

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SAB8310CW是一款全自動的C2W倒裝(對準熱壓)鍵合設備,適用于批量化生產。芯片和晶圓可自動上下料,具備獨立的氫自由基甲酸催化表面活化和等離子體活化腔,可實現高質量的Fluxless TCB鍵合。

  • 項目

    指標

  • 壓力范圍

    1-3000N

  • 控壓穩定性

    1~50N:±0.5N
    51~3000N:±2N

  • Wafer尺寸

    8/12 inch兼容

  • 壓頭控溫范圍

    RT~450℃

  • 壓頭控溫穩定性

    ±0.5℃

  • 壓頭升溫速率(RT-450℃)

    6s@50*50mm; 2s@32*32mm

  • 鍵合后精度

    ≤±2μm;≤±1μm;≤±500nm

  • 活化腔氣氛

    氫自由基活化、等離子體活化

  • 鍵合腔氣氛

    惰性氣氛


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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

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