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電阻式PVT AlN生長設(shè)備是自主研發(fā)的電阻法加熱晶體生長爐，具有高穩(wěn)定性、高真空度和精確控制系統(tǒng)的AlN晶體生長系統(tǒng)，適用于商業(yè)化批量生長大尺寸AlN晶體，可實現(xiàn)AlN晶體的同質(zhì)和異質(zhì)外延生長。
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