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HVPE生長系統(tǒng)是自主研發(fā)的一臺功能強大，耐用，可靠的氣相外延生長系統(tǒng)，適用于大尺寸、高質(zhì)量商業(yè)化GaN的同質(zhì)/異質(zhì)外延生產(chǎn)。內(nèi)置新研發(fā)的控制系統(tǒng)和多溫區(qū)加熱系統(tǒng)，支持配方功能，方便工藝參數(shù)調(diào)用及儲存，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，實用性強，能夠滿足大規(guī)模體塊GaN的商業(yè)化生產(chǎn)需求。
技術(shù)參數(shù) | |
生長工藝 | HVPE法 |
產(chǎn)品類型 | 非標(biāo)定制 |
加熱方式 | 電阻式加熱/感應(yīng)式加熱 |
**溫度 | 1100℃ |
恒溫區(qū)尺寸 | 100mm |
控制方式 | PLC集成控制 |
系統(tǒng)真空檢漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷卻方式 | 循環(huán)水路系統(tǒng) |
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