真空焊接爐是在真空狀態下進行無空洞焊接的一種新型設備，適用大批量生產，使用該設備后，受空洞影響的焊接地區范圍能減少到2%，而一般的回流焊的范圍則在20%左右。允許使用的氣氛為:氮氣、氫氣、氮氫混合氣,另外本設備允許微量助焊接和極少空洞焊接工藝。該設備可以選擇使用HCOOH化學活化以達到更高要求的潔凈的焊接工藝,甚至在沒有額外助焊劑情況下也可使用無鉛的焊膏或焊片，主要適用于焊接可控硅模塊或模塊預處理。控制系統以工控機與PLC為主控單元，以溫控模塊為溫度控制執行單元。采用可觸摸屏式工業顯示器為人機可操作界面。具有完善的報警功能，保證整個工藝過程穩定可控。

主要技術數據

◎ 工藝溫度可達 450℃，滿載時加熱板表面溫度檢測精度為+2℃，容器內產品溫度精度為±5℃。

◎ 空載真空回流室動態 Profile 升溫速率≥7℃/S,降溫速率為≥10℃/S。

◎ 真空回流工藝區域為多層加熱板，每層加熱板可以裝載高100mm的工件,**負載為18KG

◎ 工作腔室真空度可達10Pa，可根據用戶要求進行訂制，**可到10-4Pa的真空度。