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超大規模集成電路制造設備，工藝時間短，生產效率高，具有出色的工藝性能達到**。
應用領域
◎ VLSI集成電路制造
產品優勢
◎晶片(片/批次)150片
◎ 晶片高速搬送系統，實現高吞吐量
◎ 精密的熱場控制，氣體控制系統
◎ 工藝周期短，生產效率高
外形尺寸及重量
◎ 外形尺寸(參考):4330mm*900mm*3305 mm(長*寬*高)
◎ 重量:2500Kg
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