額定溫度：
1380℃~1500℃非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
氧氣溫控精度：
-最高溫度：
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SiC與GaN晶圓氧化工藝設備，工藝時間短，生產效率高，具有出色的工藝性能。
設備特點
◎ 型號:OXIDE150
◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎ 全自動化系統和MES服務
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