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12寸全自動堿腐蝕機
1）： 適用于6-12英寸的硅片腐蝕清洗功能
2）： 去邊規格0.4-1.5mm,去邊精度±0.1mm，特殊規格支持定制；
3）： 設備包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR機械手,機械模組，Buffer位，刻蝕槽，水洗槽，甩干位，儲酸槽；
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