SIC全自動(dòng)預(yù)清洗機(jī)

1）： 適用SIC襯底片的預(yù)清洗，可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格 

2）： 全自動(dòng)控制，高速機(jī)械手，保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠 

3）： 設(shè)備外觀大氣、結(jié)構(gòu)緊湊 

4）： 外形采用特殊設(shè)計(jì)，提高設(shè)備防腐性能，延長設(shè)備使用壽命； 

5）： 人性化的操作界面，配合PLC控制操作，使用起來更為簡便。 

6）： 采用10.4′觸摸屏操作界面，PLC控制。自動(dòng)配補(bǔ)液，保證了操作的安全穩(wěn)定性； 

7）： 可滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化需求。