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硅碳負極流化床氣相沉積爐
硅碳負極流化床氣相沉積爐

參考價格

面議

型號

LHC-20

品牌

力信達

產地

江西贛州

樣本

暫無
江西力信達高新裝備有限公司

金牌會員

|

第3年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±5
  • 最高溫度:

    1050
  • 額定溫度:

    800
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一、設備簡介

碳基前驅體添加到流化床沉積爐內,通入高溫氣體,硅烷高溫裂解,沉積在多孔碳的表面,得到包覆改性物料,相比傳統CVD爐氣固相接觸充分,包覆硅時包覆層比傳統工藝更均勻,反應區的溫度控制均勻,溫度精度一致性更好。

二、技術參數

1. 載氣:N2、H2、Ar

2. 反應氣體:CH4、C2H2、C3H6、SiH4

3. 每批處理量: 10kg≤Q≤150kg

4. 操作溫度: ≤800℃

5. 操作壓力: ≤10Kpa

6. 卸料溫度: ≤200

7. 氧指數: ≤50ppm





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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分

性價比

10分
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