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圓形互聯設備（外置機械臂、內置機械臂）品牌
致真精密產地
安徽樣本
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致真設備還推出了多款互聯設備實現多個設備的互聯，適用于2~8英寸的晶圓。通過真空泵組搭配可實現晶圓的超高真空傳輸。
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