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擴散氧化爐(科研型)
擴散氧化爐(科研型)

參考價格

面議

型號

擴散氧化爐(科研型)

品牌

艾科威

產地

湖南

樣本

暫無
湖南艾科威半導體裝備有限公司

會員

|

第2年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    氧氣
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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技術指標

●適用晶片尺寸 :  2~8英寸圓片

●工作溫度: 600℃~1300℃; 

●可配工藝管數量:1~2管/臺

●恒溫區長度及精度:≤±0.5℃/300~600mm (800℃~1300℃),

● 單點溫度穩定性:≤±0.5℃℃ /24h (1100℃); 

●溫度斜變能力:**升溫速率20℃/min,**降溫速率5℃/min; 

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