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立式爐
立式爐

參考價格

面議

型號

立式爐

品牌

艾科威

產地

湖南

樣本

暫無
湖南艾科威半導體裝備有限公司

會員

|

第2年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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    立式爐主要適用于6"、8"、12"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。
        氧化是在中高溫下通入特定氣體(O2/H2/DCE),在硅片表面發生氧化反應,生成二氧化硅薄膜的一種工藝。生成的二氧化硅薄膜可以作為集成電路器件前道的緩沖介質層和柵氧化層等。
        退火是在中低溫條件下,通入惰性氣體(N2),消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷,優化硅片界面質量的一種工藝。

應用領域:

用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域。

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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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