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德國進口JETI過程質譜儀Versa PS 2000介紹
過程質譜儀 Versa PS 2000 是為在線透射測定和及時測量生產過程中的光層而設計的。它也可用于其他光學測試，例如：涂覆過程中液體或者反射光的光譜傳輸測量
PS 2000的特點
·快速精準測量 (測量時間低至10 μs)
·快速讀取
·多種數據接口
·由外部位置傳感器讀出
·性能穩定可靠
Versa PS2000的固件能夠預處理測量數據，所以我們的過程光譜儀能夠處理計算進程數據，例如反射率和光層厚度Versa PS 2000也可與一個外部光源（鹵素燈或者疝氣閃光燈）
應用 數據
·在線光譜測試 ·USB (high or full speed)
·真空沉積的過程控制 ·LAN
·薄膜厚度測試 ·RS 232/ 422/ 485
·儀器儀表分析
·多通道光譜分析系統
產品描述
·存儲的參考參數
·數據預處理， 暗信號矯正， **校準
·內部計算平均值、插值、傳輸率、反射率、吸收率、色度坐標等參數
·基于DLL的SDK和SCPI（儀器標準指令）可兼容的控制語法
·軟件和硬件的觸發
規格參數
| 光學參數 | |
| 光譜范圍 | 200 nm ... 1000 nm |
| 光譜儀 | flat field holographic grating， aberration correction mirror |
| 光譜帶寬 | ≤ 4.0 nm FWHM (100 μm slit) ≤ 2.5 nm FWHM (50 μm slit) ≤ 2.0 nm FWHM (30 μm slit) |
| 不對稱因子 | ≥ 0.7 |
| 光輸入 | 200 mm 光纖帶F-SMA 905接頭 |
| 波長準確性 | ≤ 0.2 nm (HgAr 線性光) |
| 波長重復性 | ≤0.02 nm (HgAr 線性光) |
| 雜散光 | < 0.2 % (ASTM E387， GG495， 波長 = 420 nm/ 600 nm) |
| 動力 | 取決于探頭類型 |
| 探頭 | 25 mm BTCCD， CMOS， NMOS* |
| 電子參數 | |
| 數字解析度 | 16 bit |
| AD噪聲 | 2 counts RMS |
| 采樣速率 | up to 4 MS/ s |
| 數據傳輸率 | up to 40 Mb/ s (via High Speed USB) |
| 集成時間 | 0.01 ... 65535 ms |
| 觸發延遲 | 10 μs |
| 抖動 | ≤2μs |
| 數據接口 | USB Ethernet or RS 422/485 RS 232 |
| 電源 | 110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used) |
| 機械參數 | |
| 體積 | 25 cm x 25 cm x 15 cm |
| 重量 | 3 kg |
| 標配清單 | 主機、配套軟件、電源線、JETI軟件開發包、操作手冊 |
其他配件可依客戶需求訂配
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