主動減振臺-減振臺-HERZ

主動隔振系統是通過持續感應輸入振動并動態消除來運作。在每個系統中，至少有六個振動傳感器，壓電加速度計，用于感應檢測儀器的振動。它們的信號被送入中央處理器，該中央處理器將信號整合起來，并向執行器發送一個消除信號。舊的執行器是音圈執行器（揚聲器）；新的執行器是壓電傳感器，其產生的振動與輸入振動相等且異相，消除了輸入的振動。有一組彈簧支撐系統，提供被動隔振。該系統具有反饋回路，可以抑制系統的結構共振。該反饋回路消除了每個被動隔振系統中出現的低頻共振和附帶共振。

HERZ主動隔振系統具有以下優點：

- 無低頻共振

- 低頻隔振

- 內部反饋回路抑制所有機械共振

- 六自由度隔振（而不僅僅是X， Y， 和Z)

- 反饋系統不需要調整到振動水平

- 響應時間5 ~ 20 毫秒

- 不需要空氣

- 緊湊型

主要應用于：

原子力顯微鏡

掃描探針顯微鏡

干涉測量

熒光顯微鏡

摩擦學和納米壓痕測試

高精度測量

高分辨率顯微鏡

輪廓測量

試管受精

此外，TS系列還有多個升級選項可供選擇，如：

工作臺集成

（包括架子，監控器支架，鍵盤托盤等）

隔音箱集成

(如靜噪器，AEK-2002及定制隔音設備)

定制面板尺寸及材料

（通常為阻尼鋁板，面板可定制不銹鋼，鐵磁鋼，可打孔）

振動器集成（激勵源）

遠程顯示

（重量分布，內部電機調平，X/Y/Z軸振動水平，啟動/關閉組件，開關隔振臺）

遠程電源

（免受電磁噪音或熱量干擾）