●該設備為公司根據客戶工藝需求定制，與中國科學院某研究所國家重點實驗室聯合研制，先后獲得獎勵3項，聯合申報國家2項，用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領域，服務于科研和國家重大項目需求，具有多功能、高穩定和**的特點，歡迎各位聯合研制。

●設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統，可根據客戶使用需求定制。

●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據實際需求定制）

●真空系統：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統；

●真空抽速：4000-7000L/S，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據客戶選擇主泵確定）；