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可見光波前傳感器
PHASICS介紹其近紅外高分辨率波前傳感器(從1.5 μm到1.6 μm)。
在激光光束測量方面，SID4 NIR提供一個詳盡的光束檢測法(像差，M²，強度分布，光束參數等)。
在光學測量方面，SID4 NIR是檢測紅外物鏡或紅外透鏡出MTF，PSF，焦距和分析表面質量的**工具。
主要特點
● 高分辨率(160 x 120)
● 相位圖解釋模塊
● 強度截面檢測
● **測量
● 測量速度快
● 對振動不敏感
● 成本效益
參數
孔徑 | 3.6 x 4.8 mm² |
空間分辨率 | 29.6 μm |
采樣點 | 160 x 120 |
波長范圍 | 1.5 μm – 1.6 μm |
精度 | 15 nm RMS |
敏感度 | 11 nm RMS |
動態范圍 | > 100 μm |
分割頻率 | > 10 fps |
采樣頻率 | 60 fps |
尺寸(l x H x L) | 44 x 33 x 57.5 mm |
重量 | 250 g |
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