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原理：用超越激光衍射極限的系統來研究樣品
NTEGRA Spectra 在檢測樣品時，通過掃描近場光學顯微術能提供超越激光光學衍射的光學分辨率。支持兩種不同的SNOM方式：光纖式SNOM和懸臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。
所有SNOM的信號都可以被檢測：激光強度，熒光強度，光譜信號等。
SNOM刻蝕：矢量式，光柵式。
NTEGRA Spectra 采用開放式光路設計，使其能夠與多種光學儀器進行聯用。應用領域包括微區化學成分分析、力學性能、介電性質和光學的反射、透射、傳播性能的、碳基化合物、生物材料、半導體等，聯用測量的空間研究等等。能夠分析各種來源的復雜樣品，包括聚合物分辨率已經接近納米尺度。
技術參數 | 掃描方式 | ||
樣品掃描 | 針尖掃描 | ||
樣品尺寸 | **直徑40mm **高度15mm | **直徑100mm **高度15mm | |
樣品重量 | **100g | **300g | |
XY樣品定位 | 5×5mm | ||
定位精度 | 分辨率：5μm 靈敏度：2μm | ||
掃描范圍 | 100×100×10μm 3×3×2.6μm | 100×100×10μm 50×50×5μm | |
**200×200×20μm (DualScanTM模式) | |||
非線性度，XY （帶有閉環傳感器） | =0.1% | =0.15% | |
Z方向噪音水平（1000Hz帶寬時的RMS） | 帶有傳感器 | 0.04nm（典型值） =0.06nm | 0.06nm（典型值） =0.07nm |
不帶傳感器 | 0.03nm | 0.05nm | |
XY方向噪音水平（200Hz帶寬時的RMS） | 帶有傳感器 | 0.2nm（典型值） =0.3nm(XY 100μm) | 0.1nm（典型值） =0.2nm(XY 50μm) |
不帶傳感器 | 0.02nm(XY 100μm) =0.001nm(XY 3μm) | 0.01nm (XY 50μm) | |
線性度評價誤差（帶有傳感器） | ±0.5% | ±1.2% | |
光學觀察系統 | 光學分辨率 | 1μm | 3μm |
視野 | 4.5-0.4mm | 2.0-0.4mm | |
連續變焦 | 是 | 是 | |
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