技術參數(shù)：在大氣環(huán)境下：掃描隧道顯微鏡/ 原子力顯微鏡(接觸 +半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調制/力譜線/粘附力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯 微鏡/掃描電容顯微鏡/開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像/納米壓痕/刻蝕: 原子力顯微鏡(電壓+力)/壓電力模式/超聲原子力/外加磁場/溫度控制/氣氛控制等功能。

在液體環(huán)境下：原子力顯微鏡(接觸+半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調制/粘附力成像/力譜/刻蝕:

測量頭部：AFM和SPM可選配液相模式和納米壓痕測量頭

掃描方式：樣品掃描、針尖掃描、雙掃描

**樣品尺寸：樣品掃描：直徑40mm，厚度15mm。針尖掃描：樣品無限制

XY樣品定位裝置：移動范圍5×5um，精度5um

掃描范圍：90×90×9um（帶傳感器/閉環(huán)控制），可選配低電壓模式實現(xiàn)原子級分辨

XY方向非線性度：≤0.5%（帶傳感器/閉環(huán)控制）

Z方向噪音水平（帶寬1000Hz時的RMS值）：閉環(huán)控制掃描器（典型值0.04nm，**0.06nm）

光學顯微系統(tǒng)：配備高數(shù)值孔徑物鏡后，分辨率可由3um提升至1um

樣品溫度控制：室溫~300℃