?隨著我國科學技術和新型材料等產業的快速發展，高純氣體作為保護氣在超大規模集成電路、激光材料、光導纖維、航空航天材料等領域都有著重要的應用。氧氣作為一種化學活性較強的物質，其含量是檢測高純氣體質量的重要指標，所以控制和檢測氧氣含量的關鍵因素是高純氣體作為保護氣。 在我國國家標準中，對高純氣體的質量要求