展品介紹

Entegris（PSS）在線滴定儀

SemiChem 在線滴定儀 是一款集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度于一體的化學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。通過全面的在線化學(xué)監(jiān)測(cè)，該系統(tǒng)可實(shí)時(shí)校正Slurry成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。

應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 半導(dǎo)體領(lǐng)域CMP Slurry中過氧化物（雙氧水）的在線濃度檢測(cè)；

2. CMP Slurry過氧化物（雙氧水）的濃度分析；

3. DSP+（dilute sulfuric peroxide HF mixture）的濃度檢測(cè)。

Entegris（PSS）在線顆粒計(jì)數(shù)器

AccuSizer^? Mini在線液體顆粒計(jì)數(shù)器，不僅能根據(jù)客戶需求靈活匹配功能模塊進(jìn)行在線顆粒監(jiān)測(cè)，還具備LE400、FX和FX Nano等多種傳感器選項(xiàng)。設(shè)備可高精度地檢測(cè)遠(yuǎn)離主峰的幾個(gè)ppt水平標(biāo)準(zhǔn)差的LPC分布，并快速統(tǒng)計(jì)數(shù)十萬(wàn)個(gè)粒子，為生產(chǎn)過程提供真實(shí)可靠的數(shù)據(jù)支持。

Entegris（PSS）液體顆粒計(jì)數(shù)器

AccuSizer^? A2000、A7000、A9000液體顆粒計(jì)數(shù)器具有高靈敏度，高分辨率，高達(dá)1024個(gè)數(shù)據(jù)通道等特點(diǎn)。在檢測(cè)液體中的顆粒數(shù)量的同時(shí)精確測(cè)量顆粒的粒度及粒度分析，結(jié)合全新一代軟件的強(qiáng)大分析功能，通過真實(shí)精細(xì)的分布結(jié)果，廣泛服務(wù)于醫(yī)藥、半導(dǎo)體、精細(xì)化工、光電等領(lǐng)域。

Entegris（PSS）納米激光粒度儀

Nicomp^? 3000系列納米激光粒度儀采用動(dòng)態(tài)光散射原理檢測(cè)分析樣品的粒度分布。基于多普勒電泳光散射原理檢測(cè)ZETA電位。獨(dú)有的0.9°步進(jìn)型多角度模塊和Nicomp^? 多峰分布可分辨體積比1:2的多組分，可為客戶提供精確的納米顆粒粒度表征和粒度分布測(cè)試。

LUM穩(wěn)定性分析儀

LUMiSizer^? 是一款穩(wěn)定性分析儀，基于重力沉降法的原理，應(yīng)用LUM（羅姆）的STEP技術(shù)（Space Time resolved Extinction Profiles, 空間時(shí)間消光圖譜法）可快速、簡(jiǎn)單地量化乳液、膠體、懸浮液等液相分散體系的穩(wěn)定性——沉降、上浮、熟化、聚結(jié)等行為，一次可同時(shí)測(cè)定12個(gè)樣品，可以快速判定和量化其穩(wěn)定性和效期。

在展會(huì)上，您將了解奧法美嘉最新的半導(dǎo)體粒度表征解決方案，與我們的技術(shù)人員面對(duì)面交流。

我們誠(chéng)摯期待您的蒞臨，共同探討半導(dǎo)體行業(yè)的未來發(fā)展趨勢(shì)。

感謝您對(duì)奧法美嘉的關(guān)注與支持，相約SEMICON China 2025，我們下周見！

奧法美嘉展位號(hào)：N2館-2642

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