氮化鋁（AlN）陶瓷基片是一種新型的基片材料，具有優(yōu)異的電性能、力學性能以及熱性能，其熱導率高（理論熱導率280W/m/K）、介電常數(shù)低（約為8.8）、擁有與硅Si相匹配的熱膨脹系數(shù)（293K-773K，4.8×10-6K-1）、電阻率高（>1014Ω?cm）、擊穿場強高（1.4×107V/cm）、比重低（理論密度3.26g/cm3）、機械強度高（抗彎強度300-400MPa）、無毒，是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料。除此之外，氮化鋁陶瓷基板不含有機成分，銅層不含氧化層，對熔融金屬有優(yōu)良的耐腐蝕特殊性，使用壽命長，可在還原性氣氛中長期使用，在國防、航空航天、通訊、微電子等領域內(nèi)應用前景十分廣闊。

    然而,由于AlN是以共價鍵結合為主的化合物,自擴散系數(shù)小, 難以燒結致密，所以AlN的燒結工藝是基片材料制作過程中的一處難點。 氮化鋁陶瓷的燒結主要需要注意以下幾點，首先是升溫速率、燒結溫度和保溫時間，其次要選擇合適的保護氣氛防止AlN氧化，最后還要確保燒結設備有很好的溫度均勻性。

    Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）在國內(nèi)外氮化鋁陶瓷燒結方面有非常廣泛的客戶群體和成熟的工藝技術，可為氮化鋁陶瓷燒結提供溫度高達2200℃的箱式爐（HTK系列）和鐘罩爐（HBO系列）。

  爐子的防輻射隔熱屏蔽材料和加熱元件是同一材質(zhì)，沒有纖維保溫材料，所以可達到高真空度和純凈的氣氛環(huán)境（纖維材料會有孔隙），保證了燒結工藝在高溫下的安全性。Carbolite?Gero還可保證高純度氣氛環(huán)境（>6N）和高真空度。根據(jù)要求提供氫氣分壓以及可燃或有毒氣體的認證安全管理。用于質(zhì)量控制的數(shù)據(jù)記錄。另外，加熱元件的合理分布、三區(qū)控溫熱技術以及氣氛預熱保證了設備良好的溫度均勻性。除此之外，爐體可自動升降，過程十分平穩(wěn)，確保樣品不受震動的影響。

HBO 60/W22-1G 用于LTCC/ALN基板及封裝

  Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）是專業(yè)高端的箱式、管式馬弗爐和烘箱品牌，溫度范圍30℃-3000℃，產(chǎn)品覆蓋高溫爐、真空爐、氣氛爐、石墨爐，已被廣泛應用于航空航天、陶瓷、煤炭、金屬、電子等行業(yè)，并可為客戶提供滿足行業(yè)標準和工藝需求的定制化解決方案。