中國粉體網訊 碳化硅制造裝備是碳化硅技術和產業發展的基礎，碳化硅單晶生長爐的技術水平、工藝能力及自主保障是碳化硅材料向大尺寸、高良率方向發展的關鍵，也是牽引第三代半導體產業向低成本、規模化發展的主要因素。
目前國內主要的碳化硅長晶爐廠商主要分為兩種類型，一是專業晶體生長設備供應商，二是碳化硅襯底廠商（采用自研/自產設備的模式），在兩者共同推動下，基本實現了設備國產化。
北方華創
北方華創成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，是北京市國資委一級企業北京電子控股有限責任公司下屬的國有控股上市公司，是目前國內集成電路高端工藝裝備的先進企業。在半導體裝備業務板塊，北方華創的主要產品包括刻蝕、薄膜沉積、爐管、清洗、晶體生長等核心工藝裝備，更是碳化硅單晶爐主要的國產企業。
北方華創已具備300臺/月的6英寸SiC長晶爐交付能力，在8英寸SiC長晶設備方面則已開發了3種機型。在供貨方面，北方華創已經向國內多家下游SiC材料主流廠商實現大批量交付。
晶升股份
晶升股份成立于2012年2月，是一家專業從事8-12英寸半導體級單晶硅爐、6-8英寸碳化硅、砷化鎵等半導體材料長晶設備及工藝開發的國家高新技術企業。2023年，晶升股份液相法SiC晶體生長設備研究取得新進展，成功研發出該設備并提供給多家客戶。同年公司科創板上市，募資加速擴產及研發。
晶升股份在SiC單晶爐主要技術指標方面具有先進性，可達到或優于國外主流廠商技術水平。目前，公司的8英寸碳化硅長晶設備已向多家客戶交付并通過驗收，2025年二季度8英寸設備將批量交付于中國大陸及中國臺灣客戶。
連城數控
連城數控成立于2007年，業務領域涉及半導體與光伏兩大賽道。2023年設立全資子公司連科半導體，聚焦和專注于硅及碳化硅領域裝備的研發和制造，并在無錫規劃建設半導體大硅片長晶和加工設備、碳化硅長晶和加工設備的研發和生產制造基地，以推進半導體設備國產化進程，提高市場占有率。同年，連城數控液相法碳化硅長晶爐順利下線；2024年5月上線“新一代8英寸碳化硅長晶爐”。
恒普技術
寧波恒普技術股份有限公司成立于2011年，是一家以材料研究為基礎，以高溫熱場環境控制為技術核心的金屬注射成形(MIM)領域和寬禁帶半導體領域的關鍵設備供應商，主要從事金屬注射成形(MIM)脫脂燒結爐、碳化硅晶體生長爐、碳化硅同質外延設備等熱工裝備的研發、生產和銷售。目前的產品包含水冷夾套式金屬腔體SiC長晶爐、雙石英管SiC長晶爐、水平線圈式⻓晶爐、單石英管SiC長晶爐等，以軸徑分離為核心技術，應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。
優晶科技
蘇州優晶半導體科技股份有限公司成立于2010年，是一家專注于大尺寸（6英寸及以上）導電型碳化硅晶體生長設備研發、生產及銷售的高新技術企業。優晶科技經多年努力研發電阻法碳化硅晶體生長設備及工藝，于2019年成功研制出6英寸電阻法碳化硅單晶生長設備，經持續工藝優化，目前已推出至第四代機型UKING ERH SiC RV4.0電阻法碳化硅長晶設備，可用于6英寸、8英寸量產。
科友半導體
哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司自2018年成立以來，以第三代半導體碳化硅為核心，構建了從裝備研發到襯底制造的全產業鏈閉環。在第三代半導體裝備領域，科友已形成三大技術壁壘：長晶設備自動化控制、高純度材料制備工藝、定制化設備開發能力。其自主研發的電阻式碳化硅長晶爐，突破了國際技術封鎖，該設備長出的晶體具有“應力低、品質高、一致性好”的特點，良品率顯著優于傳統感應式設備。
天科合達
北京天科合達半導體股份有限公司成立于2006年9月，產業涵蓋碳化硅單晶爐制造、碳化硅單晶襯底制備和碳化硅外延片制備。該公司擁有自主知識產權的“PVT 碳化硅單晶生長爐制造技術”、“高純度碳化硅生長原料合成技術”、“PVT 碳化硅晶體生長技術”、“低翹曲度碳化硅晶體切割技術”、 “碳化硅晶片精密研磨拋光技術”和“即開即用的碳化硅晶片清洗技術”等六大核心技術體系。其第五代長晶爐支持8英寸襯底生產。
力冠微電子
山東力冠微電子裝備有限公司成立于2013年，產品涵蓋第一代至第四代半導體材料工藝裝備，均擁有自主知識產權，完全自主可控。其自主研發的8英寸PVT碳化硅長晶爐已實現批量銷售，涵蓋感應加熱與電阻加熱兩種技術路線，可靈活適配導電型與半絕緣型碳化硅晶體的生長需求。同時，該公司進一步攻克了12英寸PVT電阻加熱長晶爐的研發難關，并已完成首批兩臺設備的交付。
中科漢達
沈陽中科漢達科技有限公司創建于2018年，總部位于沈陽市國家自主創新示范核心渾南區，是國內領先的半導體材料制備裝備和真空非標裝置的高新技術企業。公司可提供6-8英寸碳化硅晶體制備、晶體生長、工藝退火全流程裝備，其感應法碳化硅長晶爐適用于物理氣相傳輸法（PVT）生長6-8英寸碳化硅單晶，采用雙層立式石英管水冷結構提供穩定的長晶環境，具有生長高品質晶體、性能穩定等優勢。
卓遠半導體
江蘇卓遠半導體有限公司成立于2018年，專注于寬禁帶半導體晶體裝備及其材料的研發生產與制造，主營業務有寬禁帶半導體晶體生長裝備、金剛石與碳化硅晶體工藝及解決方案以及在智慧電網、新能源汽車等領域的相關應用。公司可提供PVT法SiC長晶爐，支持6-8英寸晶體生長。
來源：各企業官網、官微
（中國粉體網編輯整理/空青）
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