碳化硅聚焦環

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中國粉體網訊 聚焦環是放置在晶圓外部、直接接觸晶圓的重要部件，通過將電壓施加到環上以聚焦通過環的等離子體，從而將等離子體聚焦在晶圓上以提高加工的均勻性。傳統的聚焦環由硅或石英制成，隨著集成電路微型化推進，集成電路制造對于刻蝕[更多]