極紫外光刻技術

推薦三星已開始使用極紫外光刻技術量產14納米DRAM芯片

中國粉體網訊 10月12日消息，據國外媒體報道，今日，存儲芯片制造商三星電子宣布，它已開始使用極紫外光刻（EUV）技術量產業界最小的14納米DRAM芯片。三星電子表示，EUV技術減少了多圖案繪制中的重復步驟，提高了圖案繪制的[更多]