光刻工藝

推薦國產光掩膜基板，離“卡脖子”突圍還有多遠？——訪上海光機所高端光電裝備部徐學科部長

中國粉體網訊 2025年3月27日，由中國粉體網主辦的2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產業發展大會在江蘇東海隆重召開，會議期間，我們與中國科學院上海光學精密機械研究所高端光電裝備部的徐學科部長，對光掩膜基板工藝，其[更多]