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電化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)

推薦新型SiC拋光技術(shù),效率飆升10倍!

中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,碳化硅(SiC)作為一種卓越的高性能材料,正日益成為科研界關(guān)注的焦點(diǎn)。然而,其卓越的硬度和化學(xué)穩(wěn)定性特性,在為材料帶來優(yōu)勢(shì)的同時(shí),也給拋光工藝設(shè)置了重重難關(guān)。特別是在晶圓的精密制造環(huán)節(jié)[更多]

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