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低溫多晶硅

推薦非晶硅與低溫多晶硅的區別

據報道,低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫,一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應低于攝氏600度,尤其對LTPS區別于a-Si制造的制造程序“激光退火”(laser anneal)[更多]

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