襯底材料

推薦上海微系統所在300 mm SOI晶圓制造技術方面實現突破

中國粉體網訊近日，上海微系統所魏星研究員團隊在300 mm SOI晶圓制造技術方面取得突破性進展，制備出了國內第一片300 mm 射頻（RF）SOI晶圓。團隊基于集成電路材料全國重點實驗室300 mm SOI研發平臺，依次解[更多]