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薄膜沉積設備

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中國粉體網訊 半導體設備可分為前道設備(晶圓制造)和后道設備(封裝與測試)兩大類。前道設備投資量占總設備的80%以上,刻蝕設備、薄膜沉積設備和光刻機分別占前道設備價值量的22%、22%和17%,是半導體前道生產工藝中的三大核[更多]

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